氣體流量控制器

寧波森泉科技有限公司為您提供氣體流量控制器。氣體流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理,測量氣體的流量將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量測量電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥，通過閉環(huán)控制來控制通過的流量，并使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量熱式氣體流量計(jì)�？刂破鬏敵龅牧髁繖z測到的電壓與流過通道的氣體成正比。滿量程檢測輸出電壓為5VDC。氣體流量控制器的檢測范圍為2~100%滿刻度(量程比為50：1)，流量分辨率為0.1%滿刻度。

氣體流量計(jì)和氣體流量控制器結(jié)構(gòu)氣體流量計(jì)含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補(bǔ)償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構(gòu)成了流量控制器。
LF系列MFC和MFM可廣泛地應(yīng)用于石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、和真空等多種領(lǐng)域的科學(xué)研究和生產(chǎn)中，其典型應(yīng)用有：電子工藝設(shè)備，如氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。

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