edwards愛德華epx180l半導體干式真空泵維修保養(yǎng)

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應用目標應用包括：負載鎖計量傳輸腔

灰化/剝離

PVD

愛德華EPX 180真空干泵

主要特性和優(yōu)勢

占地面積小且重量輕 - 作為可用的 小工具上泵之一，EPX節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造

使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和 安裝

成本，如果需要也可遠程使用。

受zhuanli保護的泵機構(gòu) - EPX 可以抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓

力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。

超清潔機構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有

高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度

地延長了泵的。

運轉(zhuǎn)時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實現(xiàn)低噪聲。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

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