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分子泵的清洗: 將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個(gè)適合的容器中。 6.往容器中用人無水酒精,高度以前級(jí)真空接口略低為宜,如下圖。 7.上下活動(dòng)分子泵幾次,便于分子泵的定子和轉(zhuǎn)子的葉片清洗,在無水酒精中浸泡大概5~10分鐘。 8.換掉無水酒精,加入新的無水酒精 tds真空泵維修,重復(fù)前面的工作,少要重復(fù)一次。 9.拿出分子泵。 10.將高真空接口朝上,從垂直慢慢放倒到180度,以便排除磁性軸承中的酒精。
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