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常見分子泵維修及處理方法 缺水故障 缺水時(shí)將鳴響蜂鳴器并將停掉渦輪分子泵的供電電源,渦輪分子泵會(huì)停止運(yùn)轉(zhuǎn)。 真空度不足或無法開啟電離規(guī) 系統(tǒng)真空度不足或無法開啟電離規(guī)時(shí),首先觀察是否因?yàn)橥K斐蓽u輪分子泵沒有運(yùn)轉(zhuǎn),再應(yīng)檢查各手動(dòng)閥是否處于正常狀態(tài),若都沒有問題,檢查分子泵以上的狀況管路是否有漏氣的狀態(tài)。
然而在這種情況下 edwards分子泵,兩邊氣體通過葉列的傳輸幾率也是相同的。當(dāng)葉列以不同的速率大小和方向(正向或反向)運(yùn)動(dòng)時(shí) edwards分子泵維修價(jià)格,根據(jù)相對運(yùn)動(dòng)的觀點(diǎn) edwards分子泵維修,葉列兩邊的氣體相對葉列的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)可以由圖7中標(biāo)號1到5來描述,其中任何一種狀態(tài)下,兩邊氣體通過葉列的傳輸幾率都是相同的。
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