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大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、-）的能力很強。因而它非常適于真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，-質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積 萊寶分子泵維修價格，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵 萊寶分子泵維修，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內(nèi)積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。


任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。 (1) 設備費用高   在抽速大于1000 l/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很-的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統(tǒng)需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。



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