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真空泵的使用:
真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。滿足真空設(shè)備的-真空及工作壓強(qiáng)要求。由于每種真空泵都有它的-真空度,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選擇各種無(wú)油泵,如:無(wú)油真空泵、水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油的旋片真空泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:ska型水環(huán)式真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmhg~25mmhg(絕壓) 無(wú)油真空泵,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmhg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmhg下長(zhǎng)期工作。
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