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電容位移傳感器原理capancdt電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對(duì)的被測(cè)物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器,輸出交流電的電壓會(huì)與傳感器到被測(cè)物體之間的距離成正比關(guān)系,從而可以通過測(cè)量電壓的變化得到距離信息。電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點(diǎn)外,還具有信噪比大,靈敏度高,電容傳感器位移實(shí)驗(yàn),零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中, 源于-的磁屏蔽環(huán)設(shè)計(jì),德國(guó)米銥公司的電容式傳感器可以實(shí)現(xiàn)近乎的線性測(cè)量。但是,電容傳感器要求探頭到被測(cè)物體之間的電介質(zhì)必須均勻恒定。測(cè)量系統(tǒng)對(duì)于測(cè)量范圍內(nèi)的電介-化非常敏感。德國(guó)米銥公司的電容式位移傳感器也可以用于絕緣體的測(cè)量,源于這些絕緣體會(huì)改變測(cè)量間隙內(nèi)的介電常數(shù)。通過后續(xù)電路的調(diào)整,即使測(cè)量絕緣體,也可以得到幾乎線性的信號(hào)輸出。源于電磁轉(zhuǎn)化過程,電容傳感器可以測(cè)量所有金屬。電容測(cè)量系統(tǒng)主要測(cè)量平板電阻的阻抗值,阻抗值與探頭到被測(cè)物體之間的距離成正比。傳統(tǒng)電容式傳感器,會(huì)從電極側(cè)面散發(fā)磁力線。這中磁場(chǎng)會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果。德國(guó)米銥公司的電容式傳感器帶有一個(gè)接地屏蔽環(huán),可以有效減少側(cè)面磁場(chǎng)和邊界效應(yīng),從而得到準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。從接地屏蔽環(huán)發(fā)出的磁力線不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。
電容位移傳感器測(cè)量風(fēng)機(jī)空氣間隙發(fā)電機(jī)定、轉(zhuǎn)子空氣間隙(以下簡(jiǎn)稱氣隙)是一項(xiàng)重要的電磁參數(shù),它對(duì)電機(jī)的其它參數(shù)、運(yùn)行性能及技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)有著直接的影響;運(yùn)行中的發(fā)電機(jī),其氣隙的均勻性將直接影響電氣特性和機(jī)械性能的穩(wěn)定。為-大型發(fā)電機(jī)的安全運(yùn)行,預(yù)防-性事故的發(fā)生,一些和-提出,建立一套專門的發(fā)電機(jī)氣隙監(jiān)測(cè)系統(tǒng),在機(jī)組投入試運(yùn)行時(shí)和正式投產(chǎn)之后對(duì)氣隙進(jìn)行反復(fù)測(cè)量,為運(yùn)行、檢修提供一系列的預(yù)防性數(shù)據(jù),并為機(jī)組的優(yōu)化設(shè)計(jì)提供相應(yīng)的驗(yàn)證。國(guó)際上對(duì)運(yùn)行中的風(fēng)力發(fā)電機(jī)氣隙實(shí)施動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)是從水輪機(jī)的氣隙監(jiān)測(cè)系統(tǒng)直接移植過來。該系統(tǒng)主要是以平板式電容傳感器(以下簡(jiǎn)稱為傳感器)來監(jiān)測(cè)氣隙的變化。在該類監(jiān)控方法中,其平板式電容傳感器以粘貼方式安裝在定子鐵芯上,其安裝的數(shù)量通常以用戶要求而定。來自平板式電容傳感器的測(cè)量信號(hào),由采集單元采集、傳輸,超精密電容位移傳感器,并由計(jì)算機(jī)和軟件控制測(cè)量模態(tài)和進(jìn)行過程分析,及貯存和記錄其測(cè)量數(shù)據(jù)。
新工藝的采用 在發(fā)展新型傳感器中,離不開新工藝的采用。新工藝的含義范圍很廣,邢臺(tái)電容位移傳感器,這里主要指與發(fā)展新興傳感器聯(lián)系-密切的微細(xì)加工技術(shù)。該技術(shù)又稱微機(jī)械加工技術(shù),是近年來隨著集成電路工藝發(fā)展起來的,它是離子束、電子束、分子束、激光束和化學(xué)刻蝕等用于微電子加工的技術(shù),目前已越來越多地用于傳感器領(lǐng)域,例如濺射、蒸鍍、等離子體刻蝕、化學(xué)氣體淀積(cvd)、外延、擴(kuò)散、腐蝕、光刻等,迄今已有大量采用上述工藝制成的傳感器的--。
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