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1、放電清洗
放電清洗一般用于高真空、真空腔體清洗中.放電清洗的效果取決于電機(jī)材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系.利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?
2、氮氣清洗
氮氣清洗主要是利用了氮氣在材料表面的吸附熱小、吸留時間短，鋁材真空腔體加工，容易被抽走的特性，用氮氣沖洗被污染的真空系統(tǒng)，同時擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間，鋁材真空腔體加工，縮短真空系統(tǒng)的抽氣時間.
1、超聲波清洗
超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對液體和污物直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的.
2、電解侵蝕清洗
電解侵蝕清洗類似于電解拋光，是指在溶劑中利用電解作用，清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物，主要用于化學(xué)穩(wěn)定性較高的合金部件，如不銹鋼，耐熱鋼等.
3、蒸汽脫脂清洗
蒸氣脫脂指被粘物表面用餐劑的蒸氣不斷清洗以達(dá)到脫脂的目的，適用于表面類脂膜和油脂膜的清洗，鋁材真空腔體加工，操作方法簡單，可以實現(xiàn)大批量清洗.一些帶有牢固附著物或污染較為-的基片在擦洗或超聲波清洗后，用蒸汽脫脂清洗可以實現(xiàn)-的清洗效果.
有些真空工藝會產(chǎn)生大量的塵土，如果塵土隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內(nèi)混在泵油中，會像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損，對泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和損壞，堵塞油路或使泵無法運(yùn)轉(zhuǎn)，鋁材真空腔體加工中心，如果塵土進(jìn)入真空閥門則會使密封失效而泄漏，因此塵土的-和過濾己成為增加真空腔體的使用壽命，增加生產(chǎn)率的關(guān)鍵問題，在有塵土的真空系統(tǒng)中，要采用塵土過濾器。
在塵土量較少時，可以由泵油過濾系統(tǒng)濾除，但塵土量較大時，為不讓真空泵損壞，讓真空泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說常用塵土過濾方法有以下幾種：
（2）油淋式。在油泵的效果下，使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下，油霧與上升的氣流相互效果吸附，混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。
（3）油濕介質(zhì)粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質(zhì)外表而被粘附，常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
（4）介質(zhì)阻撓式。使用介質(zhì)的機(jī)械阻撓效果過濾塵土，常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
（5）靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構(gòu)成等離子體，塵土在等離子體中附著電荷，在電場力效果下被驅(qū)向電極外表而集。
（6）混合式。將以上幾種過濾形式進(jìn)行組合構(gòu)成混合的過濾形式。
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