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對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小-不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPA的純-或-（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。可先用氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w將設(shè)備壓力提高， 然后用純-氣或-氣混合氣把測試設(shè)備的內(nèi)壓增加至測試壓力且 應(yīng)使設(shè)備內(nèi)部至少含有10%-20%的-氣含量。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時(shí)間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，-，不腐蝕零件；
-氣檢漏儀可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格-氣進(jìn)行提純，-降低-氣損耗（功能可選）；一般檢漏都采用-氣(HE)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，斷路器檢漏，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是-氣。檢漏時(shí)噴槍在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍，該時(shí)間再加上-氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間，即為兩次噴-的較小間隔時(shí)間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時(shí)間也越長。
檢漏儀的響應(yīng)時(shí)間會影響檢漏工作的速度，正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間不大于3S。筆者實(shí)測時(shí)，在漏點(diǎn)處噴射-氣5～10S后，檢漏儀就發(fā)生響應(yīng)，對于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。-氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，-系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用-作示漏氣體。-質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用-氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測-氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。
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