烤箱高真空系統(tǒng)-龍門真空系統(tǒng)-真空系統(tǒng)設(shè)計

調(diào)節(jié)滑閥泵分離器中的壓力

　　假如在處理水蒸氣時，滑閥泵作業(yè)在65℃，則安裝在滑閥泵排氣管道上的;真空;溢流閥要設(shè)定在15 000～20 000 pa，即低于水在65℃下的飽滿蒸汽壓。

　　油泵壓力

　　油泵在;真空;狀態(tài)下要可以正常運行，油壓有-保持在0.2～0.4 mpa，中央真空系統(tǒng)，連續(xù)供油。

　　抽除水蒸氣的試驗

　　二、蒸汽處理裝置長處

　　1、能處理很多可凝性氣體或揮發(fā)性氣體。

　　2、被抽蒸汽不會在泵中被冷凝，削減了對金屬表面的腐蝕。

　　3、避免了油的污染，換油次數(shù)-削減，運行成本明顯下降。

　　4、消除了因為油被污染所形成的功能下降現(xiàn)象。

　　5、在濕式工藝中能維持低的作業(yè)壓力。

油式旋片真空泵主要優(yōu)點：

1.易于安裝及保養(yǎng)

2.油鏡視窗大，便于確認油污染狀況

3.直接驅(qū)動，免皮帶.齒輪松弛或損耗

4.高抽速，真空度穩(wěn)定，噪音小，震動低

5.空氣冷卻，散熱效果好，螺栓固定泵浦

6.內(nèi)置油霧分離器，有效避免油氣制程污染，潔凈環(huán)境

7.泵帶氣鎮(zhèn)閥裝置，可過濾一定量水蒸氣與可凝性氣體，-

8.進氣口裝有逆止閥，當泵停止時，逆止閥能有效避免油氣逆流

用途：

主要應(yīng)用于真空鍍膜、微電子、光電半導(dǎo)體、太陽能、冶煉、封裝測試、真空含浸、等離子清洗等行業(yè)。