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石墨舟鍍膜后硅片會變色?分析可能原因:溫度過高或工藝時(shí)間太長前面提到有些客戶反應(yīng),新舟直接上去使用沒有問題清洗后容易出現(xiàn)。所以一個(gè)好的鍍舟工藝非常的重要。正常的鍍舟可以滿足工藝正常生產(chǎn)需要,石墨舟生產(chǎn)商,鍍舟不足會造成生產(chǎn)時(shí)工藝的化學(xué)反應(yīng)被石舟吸收造成硅片鍍膜-,石墨舟廠家生產(chǎn),吃的太飽”就容易造成硅片的四周發(fā)白。因?yàn)槲覀兊闹燮晴U空的,硅片的四周是同舟片相接觸的,從而造成四周的生長速率加快,形成片子四周發(fā)白(偏白)此點(diǎn)建議從鍍舟工藝上調(diào)整。
石墨舟
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