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潽拓——二手萊寶分子泵,分子泵
維修leyss turbovac 340mct萊寶懸磁浮分子泵以及提歐共技術(shù)維修服務(wù)

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我們具備完整的測試設(shè)備,可以測試分子泵的啟動時間,轉(zhuǎn)速,噪音,-真空值,二手萊寶分子泵主機,滲漏率等相關(guān)數(shù)據(jù)。能在現(xiàn)場能幫客戶分析分子泵狀態(tài),不需要客戶停機。


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萊寶 turbovac tw 25020040分子泵

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萊寶leyss turbovac mag w 3200渦輪分子泵

turbovac mag w 3200 c/ct常用于半導(dǎo)體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導(dǎo)體工業(yè),二手萊寶分子泵軸承,渦輪分子泵用于以下應(yīng)用場合:- 蝕刻;- 濺射;- 離子注入;- cvd;- 光刻。這些應(yīng)用中,經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設(shè)備的磁懸浮分子泵,以免軸承損壞。尤其對于金屬蝕刻,渦輪分子泵的泵內(nèi)可能發(fā)生沉積現(xiàn)象, 選用帶溫度控制的擴展附件在mag 1500 c、mag 2000 c、mag2800和mag 3200可以防止這種情況。與機械軸承渦輪分子泵相比,磁懸浮泵的優(yōu)勢在于氣體流量較大時可以防止軸承過熱,能夠有效地防止腐蝕性介質(zhì)對磁懸浮軸承的損壞。



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