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在氧化層中大部分的電荷效應(yīng)是直接或間接地同熱氧化的工藝過程有關(guān)的。在800—1250~c的溫度范圍內(nèi)，鋁壓鑄鈍化好不好，用干氧、濕氧或水汽進行的熱氧化過程有三個持續(xù)的階段，首先是環(huán)境氣氛中的氧進入到已生成的氧化層中，然后氧通過二氧化硅向內(nèi)部擴散，當(dāng)它到達si02-si界面時就同硅發(fā)生反應(yīng)，形成新的二氧化硅。這樣不斷發(fā)生著氧的進入—擴散—反應(yīng)過程，使靠近界面的硅不斷轉(zhuǎn)化為二氧化硅，鋁壓鑄鈍化價格，氧化層就以一定的速率向硅片內(nèi)部生長。

于是，就要增大電極的電流密度，電極的電位會變得更正。這就有可能引起oh-離子在電極上放電，其產(chǎn)物（如oh）又和電極表面上的金屬原子反應(yīng)而生成鈍化膜。分析得知大多數(shù)鈍化膜由金屬氧化物組成（如鐵之fe3o4），但少數(shù)也有由氫氧化物、-鹽、磷酸鹽、硅酸鹽及難溶-鹽和氯化物等組成。