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主要配置:檢漏儀分子泵。機械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內置標準漏口。 放大器。質譜模塊。-質譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響;檢測的數據;自動生成數據保存,可追溯數據來源。-氣檢漏儀特有的清-系統(tǒng),密封性測試儀多少錢,-地清除超標的-本底,-檢測的穩(wěn)定性和準確性;實時監(jiān)測-氣壓力和濃度,-了工件檢測的精度;
-氣檢漏儀可同時檢測多工件,并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件;定制的的密封接頭,減少誤判。-質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用-氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。-氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,-系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用-作示漏氣體。
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射-氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應,對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應是相當的靈敏。一般檢漏都采用-氣(he)作為示漏氣體,但也有用氫氣(h)作為示漏氣體的,考慮到它的化學性質及危險性,在應用中較少使用,所以實際大部分檢漏使用的都是-氣。-質譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術語,用-氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測-氣而進行檢漏的質譜儀。
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