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1、-氣的輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應快，檢漏靈敏度高。
2、-離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階-離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中-離子通過的各個縫隙，從而提高-離子的傳輸率。
3、-在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中-氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。
制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀：在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過程中，電力柱真空箱-檢漏系統(tǒng)，目前常使用-檢漏技術(shù)來查找微小的泄漏，而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會使用鹵素檢漏儀對整個產(chǎn)品再進行一次檢漏。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此長期以來，-檢漏技術(shù)是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段，吸式-檢漏技術(shù)一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是，以-氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機材料常常會吸收-氣，在吸收后慢慢地釋放出來;所有的-氣檢漏儀器機構(gòu)的離子收集板，-檢漏系統(tǒng)，對-氣都會產(chǎn)生記憶效應，即-離子打到離子收集板上，并儲存一定時間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底的噪音等問題。
無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個行業(yè)領域內(nèi)得到了廣泛使用。與-氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價格非常低廉，很容易在各個氣體供應商處購得。現(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當于0.1g/y，其氣體使用成本僅是-氣的1/10到1/20，同時-氣檢漏法要增加一些輔助設備，如-氣回收系統(tǒng)等。
一個真空系統(tǒng)，經(jīng)相當長時間抽氣之后，仍然達不到預期的真空度，電力柱上開關真空箱-檢漏系統(tǒng)，可能的原因有:抽氣情況-，即抽氣系統(tǒng)本身的問題。放氣，即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源。漏氣，即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問題，即準確檢出漏孔并加以修補。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位，以便修補堵漏。
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