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1、擴(kuò)散硅壓力傳感器:利用壓阻效應(yīng)原理,被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,利用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測量信號。
2、藍(lán)寶石壓力傳感器:利用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有的計(jì)量特性。利用硅-藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著-的工作特性;藍(lán)寶石的抗輻射特性強(qiáng);另外,電容式壓力傳感器,硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,無p-n漂移。
3、壓電式壓力傳感器:是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量,因?yàn)榻?jīng)過外力作用后的電荷,只有在回路具有大的輸入阻抗時(shí)才得到保存。實(shí)際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動(dòng)態(tài)的應(yīng)力。
1.偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
2.靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,電容式壓力傳感器,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。
3.線性誤差:這是一個(gè)對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,電容式壓力傳感器生產(chǎn)廠家,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
4.滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計(jì),因?yàn)楣杵哂?的機(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形-慮滯后誤差。
1. 額定壓力范圍額定壓力范圍是滿足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值的壓力范圍。也就是在較高和較低溫度之間,傳感器輸出符合規(guī)定工作特性的壓力范圍。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)傳感器所測壓力在該范圍之內(nèi)。
2. 較大壓力范圍較大壓力范圍是指傳感器能長時(shí)間承受的較大壓力,且不引起輸出特性改變。-是半導(dǎo)體壓力傳感器,為提高線性和溫度特性,一般都大幅度減-定壓力范圍。因此,即使在額定壓力以上連續(xù)使用也不會(huì)被損壞。一般較大壓力是額定壓力較高值的2-3倍。
3. 損壞壓力損壞壓力是指能夠加在傳感器上且不使傳感器元件或傳感器外殼損壞的較大壓力。
4. 線性度線性度是指在工作壓力范圍內(nèi),傳感器輸出與壓力之間直線關(guān)系的較大偏離。
5.壓力遲滯為在室溫下及工作壓力范圍內(nèi),從較小工作壓力和較大工作壓力趨近某一壓力時(shí),傳感器輸出之差。
6.溫度范圍壓力傳感器的溫度范圍分為補(bǔ)償溫度范圍和工作溫度范圍。補(bǔ)償溫度范圍是由于施加了溫度補(bǔ)償,精度進(jìn)入額定范圍內(nèi)的溫度范圍。工作溫度范圍是-壓力傳感器能正常工作的溫度范圍。
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