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由于電子本能會尋求穩(wěn)定，外層l層或m層的電子會進入彌補內層的空間。在這些電子從外層進入內層的過程中，它們會釋放出能量，我們稱之為二次x射線光子。而整個過程則稱為螢光輻射。每種元素的二次射線都各有特征。而x射線光子螢光輻射產生的能量是由電子轉換過程中內層和外層之間的能量差決定的。例如，edx-9000a真空型合金分析儀哪里有，鐵原子fe的kα能量大約是6.4千電子伏。特定元素在一定時間內所出來的x射線的數(shù)量或者密度，能夠用來衡量這種元素的數(shù)量。典型的xrf能量分布光譜顯示了不同能量時光子密度的分布情況。

1．把試樣在能量的作用下蒸發(fā)、原子化(轉變成氣態(tài)原子)，并使氣態(tài)原子的外層電子激發(fā)-能態(tài)。當從較高的能級躍遷到較低的能級時，原子將釋放出多余的能量而發(fā)射出特征譜線。這一過程稱為蒸發(fā)、原子化和激發(fā)，需借助于激發(fā)光源來實現(xiàn)。2．把原子所產生的輻射進行色散分光，按波長順序記錄在感光板上，就可呈現(xiàn)出有規(guī)則的光譜線條，即光譜圖。系借助于攝譜儀器的分光和檢測裝置來實現(xiàn)。

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