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-質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，北京-檢漏設(shè)備廠家，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，分析器和離子檢測器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。子檢測器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的-離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和-氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的-質(zhì)譜檢漏儀，電子器件-檢漏設(shè)備廠家，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達(dá)質(zhì)譜管被檢到，高壓開關(guān)-檢漏設(shè)備廠家，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因
此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，-氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主品。
機(jī)械泵的工作方式不-樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11pam3/s 數(shù)量級，儀器響應(yīng)快，-分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度-;所以-質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。在一般工業(yè)領(lǐng)域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在裝備中也離不開檢漏，彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、、特殊部件的密封性都要用到-質(zhì)譜檢漏儀，本文主要真對-質(zhì)譜檢漏儀原理及方法進(jìn)行綜述。
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真空箱式-檢漏系統(tǒng)工作環(huán)境
工作環(huán)境:
1、長×寬×高（設(shè)備占地面積約）：依據(jù)實物實際面積為準(zhǔn)。
2、電源：380 v±38 v，50 hz±0.5 hz，約22kw；
3、壓縮氣源及減壓器：0.6～0.8mpa氮氣或干燥清潔壓縮空氣；
4、待檢工件要求清潔、干燥。
5、環(huán)境溫度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
6、相對濕度： ≤80%；
7、-氣源及減壓器：-氣純度為 99％。
8、設(shè)備應(yīng)安裝在通風(fēng)-的廠房內(nèi)。
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