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rca清洗法:自從20世紀(jì)70年代rca清洗法問(wèn)世之后,幾十年來(lái)被廣泛采用。它的基本步驟初期只包括堿性氧化和酸性氧化兩步,晶圓腐蝕設(shè)備,但目前使用的rca清洗大多包括四步,即先用含-的酸性進(jìn)行酸性氧化清洗,再用含胺的弱堿性進(jìn)行堿清洗,接著用稀的qing氟酸溶液進(jìn)行清洗,腐蝕,然后用含-的酸性進(jìn)行酸性氧化清洗,在每次清洗中間都要用超純水(di水)進(jìn)行漂洗,然后再用低沸點(diǎn)進(jìn)行干燥。
rca清洗法:依靠溶劑、酸、表面活性劑和水,在不破壞晶圓表面特征的情況下通過(guò)噴射、凈化、氧化、蝕刻和溶解晶片表面污染物、有機(jī)物及金屬離子污染。在每次使用化學(xué)品后都要在超純水(upw)中清洗。以下是常用清洗液及作用。
蘇州晶淼半導(dǎo)體設(shè)備有限公司-的產(chǎn)品是我們的-,超客戶預(yù)期是我們的自我需求,真誠(chéng)守信是我們的原則,我們的目標(biāo)是提升濕制程設(shè)備制造水平和服務(wù)者!
清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)
超聲波清洗機(jī)是利用超聲波發(fā)生器產(chǎn)生的的超音頻電信號(hào),通過(guò)換能器的壓電效應(yīng)轉(zhuǎn)換成同頻率的機(jī)械振蕩,并以超音頻機(jī)械波的形式在清洗液中輻射.由于超音頻機(jī)械波傳播的正壓區(qū)和負(fù)壓區(qū)交替作用,產(chǎn)生-超過(guò)1000個(gè)-壓的微小氣泡,形成對(duì)清洗物表面的細(xì)微局部高壓轟擊,使物體表面及縫隙之中的污垢迅速剝落,這就是超聲波清洗機(jī)所特有的“空化效應(yīng)”.人們利用這一“空化效應(yīng)”把超聲波清洗機(jī)廣泛的應(yīng)用在:
航空、航天;2鐵路;3汽車、摩托車制造業(yè);4光學(xué)器件;5液晶(lcd)制造;6電子制計(jì)算機(jī);7微電子;8電子電器元器件;9五金沖壓件;10機(jī)械的零件;11家電產(chǎn)品;12電鍍,真空鍍;13鐘表、眼鏡、珠寶;14電機(jī),微電機(jī);15容器類;16醫(yī)學(xué)器具;17中藥材有效成份萃取;18維修清洗--各種設(shè)備,設(shè)施,交通運(yùn)輸車輛工具,堿腐蝕清洗設(shè)備,家用電器維修中的除油,除塵,除垢清洗;印刷行業(yè)的膠輥、絲印網(wǎng)清洗,打印機(jī)噴頭清洗,cd/vcd/dvd光盤(pán)等領(lǐng)域生產(chǎn)加工過(guò)程中或終端的除油、除蠟、粉塵,松香等污染物的清洗。
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