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(1)新的儀器對空氣和殘余氣體的讀數(shù)是零,僅對示蹤氣體有響應(yīng)。(2)新的儀器本身也是一個抽速較高的真空系統(tǒng)。(3)儀表的指示能夠反映出漏孔的大小, 漏量的大小。這三點要求實際上構(gòu)成了研制新型檢漏儀器的準則。在研制過程中, 對傳統(tǒng)的檢漏方法、光譜儀和皮喇尼規(guī)進行了考察。發(fā)現(xiàn)在實際運用中都存在著不少的缺點。當時,明尼蘇達州州立大學(xué)的尼爾博士正在研制一種可以記錄分子量和原子量大小的質(zhì)譜儀。經(jīng)過分析, 雅可比認為如果尼爾博士能夠使儀器簡化, 那么質(zhì)譜儀將是一種好的選擇性檢漏裝置。當時還論證了新型檢漏裝置的示蹤氣體必須滿足三個要求(1)系統(tǒng)的殘余氣體的質(zhì)潛中沒有它的譜線。即便儀器處于-環(huán)境,這種氣體在儀器中也幾乎不存在。(2)能夠在試驗狀態(tài)下很容易地把它從系統(tǒng)中抽出, 所用的示蹤氣體不會污染系統(tǒng)。(3)分子量低、粘度低、購置方便。顯然,-氣是滿足這三個要求的理想的氣體。
-氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的為3.65×10-27kg,在標準狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25k,臨界壓力為2.26×105pa,1atm壓力下的沸點為4.214k,熔點為0.9k,三相點溫度為2.186k,三相點壓力為51.1×10-2pa,在標準狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79j/(m·h·k),在標準狀態(tài)下的定壓比熱為5233j/(kg·k),在標準狀態(tài)下的動力粘度系數(shù)為1.86×10-5pa·s,1l液-氣化為標準狀態(tài)下的-氣體積為700l。
規(guī)定的瓶裝-氣按純度高低分別為工業(yè)用-、純-、高純-三種。
1、工業(yè)用-:-含量***99%,露1點≤43℃.
2、純-分三級:優(yōu)等品-含量***99.995%;一等品-含量***99.993%;合格品-含量***99.99%。
3、高純-分為三級:優(yōu)等品-含量***99.9996%;一等品-含量***99.9993%;合格品-含量***99.999%。
-氣在-質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用-,即-含量***99%,露1點≤43℃。
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(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2),位于隔熱板的上方:檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到-震動,此處容易造成密封膠開裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,汽車空調(diào)系統(tǒng)檢漏,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近,檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將-源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準確。噴吹時,要嚴格控制-源的流量,盡量采用噴咀流量小的噴,提高定位的能力。儀器的反應(yīng)時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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