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廣州帕納光電科技有限公司--安捷倫 tv301分子泵銷售聯(lián)系方式；
分子泵在半導(dǎo)體機(jī)械設(shè)備中的運(yùn)用
在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)加工加工工藝中，分子泵廣泛運(yùn)用于光刻技術(shù)、塑料薄膜堆積機(jī)器設(shè)備、離子注入機(jī)器設(shè)備、離子注入機(jī)等主要設(shè)備。安捷倫 tv301分子泵銷售聯(lián)系方式
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光刻技術(shù)是生產(chǎn)制造規(guī)模性集成電路芯片的關(guān)鍵機(jī)器設(shè)備，生產(chǎn)制造和維護(hù)保養(yǎng)必須高寬比的電子光學(xué)和電子工業(yè)基本，全僅有數(shù)生產(chǎn)廠家把握，因而光刻機(jī)價(jià)格價(jià)格昂貴。光刻技術(shù)光刻技術(shù)全過(guò)程務(wù)必在高真空中完成，緣故是極紫外線很嬌氣，在空氣中非常容易耗損。另外，在光刻技術(shù)全過(guò)程中，機(jī)器設(shè)備的姿勢(shì)時(shí)間誤差以皮秒激光計(jì)，這對(duì)磁懸浮分子泵的震動(dòng)值規(guī)定-。（注：皮秒激光=兆分之一秒）安捷倫 tv301分子泵銷售聯(lián)系方式
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對(duì)軸承來(lái)說(shuō)，潤(rùn)滑是左右其性能的重要問(wèn)題。潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑方式的合適與否將-影響軸承的壽命。如果軸承用的是高品位的潤(rùn)滑脂在正常運(yùn)行條件下可運(yùn)行15000小時(shí)或兩年。對(duì)電機(jī)功率大于18.5kw的水泵或在不利的條件下比如環(huán)境溫度高、空氣濕度大、灰塵多、侵蝕性強(qiáng)的工業(yè)環(huán)境應(yīng)提前檢查軸承，-時(shí)可安排5000小時(shí)更換一次潤(rùn)滑脂。
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、泵入口：對(duì)正、對(duì)稱擰緊
、泵出口：防止錯(cuò)位
、冷卻水：無(wú)漏水；入口水壓0.2mpa；水溫20±５℃；水質(zhì)澄清無(wú)沉淀
注意：環(huán)境溫度：風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口壓強(qiáng)：強(qiáng)制風(fēng)冷<0.1pa;自然風(fēng)冷<0.01pa
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葉輪鎖母越緊越好。機(jī)械密封泄漏中，軸套與軸之間的泄漏（軸間泄漏）是比較常見(jiàn)的。一般認(rèn)為，軸間泄漏就是葉輪鎖母沒(méi)鎖緊，其實(shí)導(dǎo)致軸間泄漏的因素較多，如軸間墊失效，偏移，安捷倫 tv301分子泵銷售聯(lián)系方式，軸間內(nèi)有雜質(zhì)，軸與軸套配合處有較大的形位誤差，接觸面破壞，軸上各部件間有間隙，軸頭螺紋過(guò)長(zhǎng)等都會(huì)導(dǎo)致軸間泄漏。
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分子泵葉片破碎的原因：
是異物掉入;沒(méi)有安裝過(guò)濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會(huì)造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時(shí)候會(huì)盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。
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