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背靶的選擇
對(duì)材質(zhì)的要求：一般選用無氧銅和鉬靶，厚度在3MM左右
導(dǎo)電性好：常用無氧銅，無氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好；
強(qiáng)度足夠：太薄，易變形，不易真空密封。
結(jié)構(gòu)要求：空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu)；
厚度適中：3MM左右，太厚，金圓柱靶報(bào)價(jià)，消耗部分磁強(qiáng)；太薄，容易變形。
銦焊綁定的流程
1.綁定前的靶材和背板表面預(yù)處理
2.將靶材和背板放置在釬焊臺(tái)上，升溫到綁定溫度
3.做靶材和背板金屬化
4.粘接靶材和背板
綁定的適用范圍
技術(shù)上來說表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術(shù)綁定銅背靶來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材：
ITO、SIO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材；
錫、銦等軟金屬靶；
靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端：
1.熔點(diǎn)低的靶材，像銦、硒等，金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形；
2.-靶材，一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧，二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料，金圓柱靶廠家，建議墊一片銅片。
在鉑族金屬的應(yīng)用中，光學(xué)玻璃行業(yè)是鉑的重要的應(yīng)用領(lǐng)域，鉑是制造熔制光學(xué)玻璃的坩堝和攪拌器的-材料，由于光學(xué)玻璃的特殊性，提出了對(duì)坩堝和攪拌器的更苛刻的適用要求，早在八十年代初期，蕪湖金圓柱靶，國(guó)內(nèi)就有人提出了用彌散強(qiáng)化鉑來制作坩堝和攪拌器。
21世紀(jì)展現(xiàn)-發(fā)展前景的納米技術(shù)，-由于它們的-優(yōu)異的物理化學(xué)性能，資源的-性以及在已知的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大應(yīng)用和在未知領(lǐng)域的不斷開拓探索，成為納米技術(shù)早和相當(dāng)重要的研究對(duì)象之一。
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