干光刻膠哪里有-干光刻膠-北京賽米萊德有限公司

光刻膠的參數(shù)

賽米萊德生產(chǎn)、銷售光刻膠，我們?yōu)槟�分析該產(chǎn)品的以下信息。

分辨率

分辨率英文名：resolution。區(qū)別硅片表-鄰圖形特征的能力，干光刻膠，一般用關(guān)鍵尺寸（cd，critical dimension）來衡量分辨率。形成的關(guān)鍵尺寸越小，光刻膠的分辨率越好。

對(duì)比度

對(duì)比度（contrast）指光刻膠從-區(qū)到非-區(qū)過渡的陡度。對(duì)比度越好，形成圖形的側(cè)壁越陡峭，分辨率越好。

敏感度

敏感度（sensitivity）光刻膠上產(chǎn)生一個(gè)-的圖形所需一定波長光的能量值（或-量）。單位：毫焦/平方厘米或mj/cm2。光刻膠的敏感性對(duì)于波長更短的深紫外光（duv）、極深紫外光（euv）等尤為重要。

粘滯性黏度

粘滯性/黏度（viscosity）是衡量光刻膠流動(dòng)特性的參數(shù)。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加；高的粘滯性會(huì)產(chǎn)生厚的光刻膠；越小的粘滯性，干光刻膠哪里有，就有越均勻的光刻膠厚度。光刻膠的比重（sg，specific gravity）是衡量光刻膠的密度的指標(biāo)。它與光刻膠中的固體含量有關(guān)。較大的比重意味著光刻膠中含有更多的固體，粘滯性更高、流動(dòng)性更差。粘度的單位：泊（poise），光刻膠一般用厘泊（cps，厘泊為1%泊）來度量。百分泊即厘泊為粘滯率；運(yùn)動(dòng)粘滯率定義為：運(yùn)動(dòng)粘滯率=粘滯率/比重。 單位：百分斯托克斯（cs）=cps/sg。

粘附性

粘附性（adherence）表征光刻膠粘著于襯底的強(qiáng)度。光刻膠的粘附性不足會(huì)導(dǎo)致硅片表面的圖形變形。光刻膠的粘附性必須經(jīng)受住后續(xù)工藝（刻蝕、離子注入等）。

抗蝕性

抗蝕性（anti-etching）光刻膠必須保持它的粘附性，在后續(xù)的刻蝕工序中保護(hù)襯底表面。耐熱穩(wěn)定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。

表面張力

液體-表面分子拉向液體主體內(nèi)的分子間吸引力。光刻膠應(yīng)該具有比較小的表面張力（surface tension），使光刻膠具有-的流動(dòng)性和覆蓋。