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流量控制器(mfc)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門， 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程， 在工作的過程當(dāng)中， 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降， 即壓差。mfc的工作壓差范圍通常為0.1~0.3mpa，氣體流量控制器報(bào)價(jià)， 若壓差低于值(0.1 mpa)， 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3mpa)， 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%f.s。用戶使用mfc時(shí)， 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓， 應(yīng)做到使mfc進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)， 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
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流量計(jì)，即mass flow meter（縮寫為mfm），氣體流量控制器， 是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。
流量控制器， 即mass flow controller（縮寫為mfc），氣體流量控制器公司， 不但具有流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，mfc自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說，流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置， 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
前置直管段
1）熱分布式 本類儀表對(duì)上下游配管布置不敏感，通常認(rèn)為無上下游直管段長(zhǎng)度要求。國(guó)際標(biāo)-iso/dis 11451認(rèn)為流量測(cè)量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場(chǎng)剖面畸變影響。然而bs 7405卻認(rèn)為；上下游直管段長(zhǎng)度可小至2d；在進(jìn)口端置一金屬（或塑料）網(wǎng)，可有效地-流速分布畸變，得到分布均勻的氣流；要防止從小管徑突然擴(kuò)大進(jìn)入較大口徑儀表，要緩慢過渡。
2）浸入式 帶測(cè)量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長(zhǎng)度前置直管段，氣體流量控制器廠家，iso/dis 14511對(duì)此未作具體規(guī)定，而按制造廠建議的值。bs 7405建議對(duì)于在管道中用插入熱絲流速計(jì)時(shí)，需要(8~10)d的上游直管段和(3~5)d的下游直管段。表4列舉sierra公司對(duì)帶測(cè)量管浸入式tmf所規(guī)定的上直管段長(zhǎng)度；若在其進(jìn)口端裝一塊或二快多孔板式流動(dòng)調(diào)整器（整流器）后，則其長(zhǎng)度可大為縮短。
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