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鎢-鈦(w-ti)膜以及以鎢-鈦(w-ti)為基的合金膜是高溫合金膜,-蒸發(fā)鍍靶材廠家,具有一系列-的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,w/ ti 合金具有低的電阻系數(shù)、-的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線,例如al 、cu 和ag 等已經(jīng)被廣泛的應用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應,與介質(zhì)層的粘結性差,易擴散進入si 與sio2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與si 的化合物, 充當了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。

任何金屬都不能達到純!俺儭本哂邢鄬Φ暮x,是指技術上達到的標準。
由于技術的發(fā)展,也常使 “超純”的標準升級!俺儭钡南鄬γ~是指“雜質(zhì)”,廣義的雜質(zhì)是指化學雜質(zhì)(元素)及“物理雜質(zhì)”(晶體缺陷),-蒸發(fā)鍍靶材生產(chǎn)加工,后者是指位錯及空位等,而化學雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。

但只當金屬純度達到-的標準時(如純度9以上的金屬),物理雜質(zhì)的概念才是有意義的,因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學雜質(zhì)的含量作為標準,即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬分之幾表示。
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