氣體管道怎么安裝?
1.終端設(shè)計布局
a) 系統(tǒng)設(shè)計為二級調(diào)壓面板系統(tǒng)。終端采用壁掛式設(shè)計,面板上設(shè)有調(diào)壓閥、輸出壓力指示表、緊急切斷閥(球閥/隔膜閥),同一墻面氣路的呈上下對應(yīng)并排或上下交錯排布,方便操作及美觀。面板為不銹鋼材質(zhì)。(具體安裝位置參見圖紙)
注:壁掛式終端標準型,該終端可以實現(xiàn)在室內(nèi)對設(shè)備的壓力調(diào)節(jié)、輸出壓力的監(jiān)控及氣路開關(guān)控制,省去了每日往返于氣瓶間和實驗室的奔波,提高了辦事效率。
b) 控制終端上的氣體出口尺寸要與設(shè)備的氣體入口尺寸相對應(yīng),氣體出口接頭還應(yīng)方便安裝。
2.氣路的布線
a) 氣瓶間內(nèi)一級調(diào)壓裝置面板與實驗室內(nèi)的氣路終端之間選用ss316l ep/ ba管進行連接,管道內(nèi)表面光潔度為ra<0.1-0.3um管道。
b) 主管線采用od1/2”(12.7mm)的管道(具體管道尺寸根據(jù)流量壓力長度來確定)0.5mpa壓力-量可達到20m3/h,完全滿足常規(guī)用氣需求,支管采用od1/4”(6.35mm)的管道,用焊接三通/彎通分出支路來對設(shè)備進行供氣。
c) 管道穿過障礙物時須使用管套并采用不可燃材料填充間隙,管道需用固定卡具固定在管道的支架上,管道支架為槽鋼結(jié)構(gòu),材質(zhì)為鍍鋅或者不銹鋼,美觀大方,與墻體和管道固定牢固。
d) 氣體管路在鋪設(shè)過程中要做到橫平豎直,為-管道走線的直線度和管道間的間距,每間隔一定距離應(yīng)設(shè)置一組管卡,卡具應(yīng)由不燃材料制作而成。
e) 管道之間采用-的美國全自動定位軌道式tig進行內(nèi)外保護(tig)方式連接,其優(yōu)點是泄漏率可到1 x 10-9 cc.atm/sec.he,且-內(nèi)表面產(chǎn)生氧化層或褶皺等焊接缺陷。
f) 應(yīng)盡量減少彎曲以防止被傳輸?shù)臍怏w壓力、流量損失過大。壓力管道拐彎應(yīng)力集中區(qū)應(yīng)由安全加固,設(shè)計合適的拐彎半徑,彎曲部位不能有皺折及扭曲,氣體管道安裝,管道小的可用-工具配合使用,管道大的應(yīng)采用彎頭焊接或者卡套形式連接,以-使用流暢。

配管的準備工作
(1)無論多大壓力、何種介質(zhì)及何種用途的配管,下料時均不得采用氧、乙i炔焰切割。無論是機械或手工下料,分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。
(2)管子切口應(yīng)當與管軸線嚴格垂直,切口表面平整,不得有裂紋、毛刺。
(3)各種閥門應(yīng)在安裝前清洗,清洗前先應(yīng)研磨、試壓合格,然后拆成零部件,并在ccl4溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應(yīng)當重新試壓。
(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門,應(yīng)在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑,并使溶劑流經(jīng)閥門各處,閥門流出的溶劑過濾后用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設(shè)計要求。
(5)采用普通不銹鋼管時,其表面若粘附有油污,安裝后清洗十分困難,應(yīng)當將原管放入清洗槽內(nèi)清洗。管道內(nèi)壁的酸洗工作,必須-清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。
(6)氧氣管路的閥門、附件等,應(yīng)當嚴格禁油,并在安裝前按有關(guān)要求嚴格脫脂。
3.金屬管道的連接
(1)管道材質(zhì)。用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:
1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。
2)銅管。在半導體企業(yè)中,個別生產(chǎn)工藝如gaas的操作,為了防止產(chǎn)生器件電阻,不允許使用銅制管路及其附件,只能使用不銹鋼材料。

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