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工業(yè)氣體在使用上需要注意哪些事項(xiàng)
在使用一氧i化碳?xì)怏w檢測(cè)儀的時(shí)候要注意事項(xiàng):
1、檢查氣體流量、通常為30/h,氣體管道安裝公司,流量過大或者過小對(duì)分析儀結(jié)果影響較大
2、更換濾紙:停抽氣泵,過濾罐排水
3、檢查氣路系統(tǒng)中有無漏氣現(xiàn)象。抽泣泵膜片有無破損,取樣探頭密封圈是否破i裂,四通閥、冷凝汽是否損壞等
4、取樣探頭清洗,取樣孔管路疏通
5、檢查冷凝器工作是否正常,通常溫度調(diào)整在3攝氏度范圍內(nèi)
6、檢查測(cè)量器室看是否臟污,及時(shí)清洗。
1、氣瓶安全附件完好齊全(包括橡皮圈、安全帽、壓力表、阻火器、減壓閥、易熔塞) , 膠皮軟管必須完好無老化破損情況,與氣瓶接口處應(yīng)用卡子固定,以防滑脫。 2、氧氣、乙i炔不能混合存放(二者應(yīng)隔開或隔離放置,隔開距離 2 米以上) ,使用時(shí)距離 5 米以上,氣瓶不可放置在距明火、高溫部位較近的地方(距離 15 米以上) ,蘇州工業(yè)園區(qū)氣體管道安裝,放置場(chǎng)所應(yīng)陰 涼通風(fēng),并有防傾倒措施。 3、工業(yè)氣瓶在搬運(yùn)過程中,嚴(yán)禁在地上滾動(dòng),應(yīng)用手旋轉(zhuǎn)平移。裝車時(shí),氣瓶應(yīng)該方向一 致,捆扎牢固。運(yùn)輸必須用;-車輛。氧氣、乙i炔嚴(yán)禁混裝運(yùn)輸。 4、在上部有動(dòng)火和高溫天氣使用氣瓶時(shí),應(yīng)用不燃物體遮蓋,高溫天氣不能在陽光下長(zhǎng)時(shí) 間曝曬,氣瓶使用完畢后,須拆下減壓閥、膠皮軟管等設(shè)施,并戴上安全帽,氣體管道安裝,然后按第 2 條要求放置。 5、乙i炔氣瓶在使用時(shí)嚴(yán)禁平放在地上。 6、氧氣瓶在儲(chǔ)存使用過程中嚴(yán)禁接觸油脂。 7、切割、焊接作業(yè)前,應(yīng)清理周圍易i燃物,以防引燃。 8、動(dòng)火作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)設(shè)專人監(jiān)護(hù),并配置相應(yīng)的消防滅火設(shè)施,如滅火器、水等。 9、存放(或存放過)易i燃易i爆危險(xiǎn)品的容器、管線設(shè)備不能直接進(jìn)行動(dòng)火作業(yè),應(yīng)進(jìn)行相 應(yīng)處理或采用其他安全措施,確認(rèn)安全后再進(jìn)行動(dòng)火作業(yè)。 10、在具有一定危險(xiǎn)性的場(chǎng)所動(dòng)火作業(yè),用火單位應(yīng)使用“用火-” ,在落實(shí)安全措施 后經(jīng)負(fù)責(zé)人審批再進(jìn)行施工。

實(shí)驗(yàn)室氣體工程安裝注意事項(xiàng)
(1) 管徑為1/8的管路很細(xì)且特軟,安裝后不直,很不美觀,建議管徑為1/8的全部換成1/4,在二級(jí)減壓器末端加一變徑就可以了。
。2) 氮?dú),ar,壓縮空氣,-氣,甲i烷,氧氣的已經(jīng)減壓器壓力表量程為0—25mpa,二級(jí)減壓器為0—1.6 mpa。乙i炔一級(jí)減壓器量程為0—4 mpa,二級(jí)減壓器為0—0.25 mpa。
。3) 氮?dú),ar,壓縮空氣,-氣,氧氣鋼瓶接頭共用氫氣鋼瓶接頭分兩種,一是正轉(zhuǎn)鋼瓶接頭,另一是反轉(zhuǎn)。-瓶用的是反轉(zhuǎn),小氣瓶用的是正轉(zhuǎn)。
。4) 氣體管路每隔1.5m設(shè)一管子固定件彎曲處及閥門兩端都應(yīng)設(shè)固定件。
。5) 氣體管路應(yīng)沿墻明設(shè),以便安裝維護(hù)。

高純氣體配管及附件材質(zhì)的選擇
選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前-規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管(ss304ba、ss316ba)、不銹鋼電拋光管(ss316l-ep)等,但是對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10-6及以下的管材應(yīng)用ss316l-ep管。
注:管路型式以氣體特性設(shè)計(jì),惰性氣體使用一般的單層管,作為制程用的反應(yīng)氣體,則選用高i級(jí)別的ss316l-ep管;使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用ss316l-ba管。
對(duì)于自燃爆i炸,有劇i毒的特種氣體,如sih4、ph3、ash3等則考慮使用雙套管,它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為ss316l-ep/ss316l-ap,此設(shè)計(jì)的主要目的有兩點(diǎn),首先可保護(hù)內(nèi)管直接受到外力撞擊,其次能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管,氣體管道安裝價(jià)格,并利用相關(guān)的檢測(cè)設(shè)備檢測(cè),目前常用的設(shè)計(jì)有正壓和負(fù)壓兩種方式,負(fù)壓設(shè)計(jì)是將內(nèi)外管間-真空,正壓設(shè)計(jì)則是灌以氮?dú)饩S持正壓,兩者皆可接上壓力表或者壓力警報(bào)器檢知泄漏狀態(tài)。
通常采用的方法有機(jī)械噴砂、化學(xué)溶液清洗、化學(xué)拋光、電拋光等,目前廣泛應(yīng)用的管材有光亮退火管和電拋光管。

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