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d、清洗:用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量,以地面為準(zhǔn),大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。凈化是指清除不需要或有害的雜質(zhì),使物品達(dá)到純凈的程度。在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子、有害空氣。
就潔凈室,尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言,其負(fù)荷特點(diǎn)是:由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大;送風(fēng)量大,輸送動(dòng)力消耗大,風(fēng)機(jī)管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的-量大,消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。
其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的--。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項(xiàng)具體措施 :(1) 對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有-潔凈度的空氣。
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