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使用操作烘箱要注意以下幾點(diǎn):
(一)烘箱的時間一定要調(diào)正確,鋁材時效爐,這樣才能達(dá)到烘烤的效果。
(二)烘箱的溫度一定要調(diào)正確,這樣才能保正烘烤的。
(三)烘箱的廢氣排放一定要合理,千萬不能堵住。
(四)烘箱按裝的電線一定要有足夠的截面,-安全用電。
(五)烘箱按裝必須接-的地線。
(六)烘箱裝放的四周必須有一定的散熱空間,不能靠近易著火物。
(七)烘箱四周要裝放氣體滅火器。
熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的?
1、在硅片上涂覆光刻膠{+*/}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力,防止顯影時間的延長,防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先,采用真空法從膠粘機(jī)上的硅-上抽油,將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面,然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下,光刻膠表面均勻分散,去除多余的光刻膠,獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度,預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用,在80℃的硅片上,防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體,干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。
2、掩碼對齊
由于集成電路的制造過程是吳層的過程,所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管,有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱,因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu),風(fēng)向水平還是垂直,歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán),所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱,如電熱鼓風(fēng)烘箱,對開門高溫-烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。
工業(yè)烘箱整體的構(gòu)造
1.一般來書工業(yè)烘箱內(nèi)部都是由雙層結(jié)構(gòu)來組成的。2.在工業(yè)烘箱結(jié)構(gòu)中的填充,通常都是采用了纖維物質(zhì)。3.一般利用硅酸鋁來作為工業(yè)烘箱外殼,通?梢猿蔀楹-的保溫層。
使用防爆烘箱的好處
我司設(shè)計(jì)的防爆烘箱,它就可以防止這類事故的發(fā)生。其設(shè)計(jì)主要在烘箱的背部加一個小門,當(dāng)烘箱內(nèi)部的壓力達(dá)到一定值時,這扇小門就會自動打開,從而釋放內(nèi)部的壓力,而前門-更高的壓力,是不會自動打開,而烘箱一般都是背部向墻(要留出小門打開的距離),相對老式的烘箱,它也是安全的。
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