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固晶機用多焊臂裝置
本發(fā)明公開一種固晶機用多焊臂裝置,該固晶機用多焊臂裝置包括設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機的機架,在該旋轉(zhuǎn)電機的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有焊臂連接座,該焊臂連接座四周分別設(shè)有焊臂,每個焊臂上設(shè)有一個使吸嘴支架上下滑動氣缸,該吸嘴支架設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴,其中所述旋轉(zhuǎn)電機和滑動氣缸分別與控制模塊控制連接。工作時,旋轉(zhuǎn)電機帶動焊臂本體轉(zhuǎn)動,銅合金針,再通過調(diào)節(jié)吸嘴支架與焊臂之間的位置,杭州鈹銅彎針,使晶圓吸嘴準(zhǔn)確拾起晶圓。由于焊臂連接座四周均勻分部有四個晶圓吸嘴的焊臂本體。當(dāng)一個晶圓吸嘴拾起晶圓后只需要轉(zhuǎn)動90度,第二個晶圓吸嘴拾起第二個晶圓進行后續(xù)的工藝處理。由于其轉(zhuǎn)動角度小,可以提高焊臂轉(zhuǎn)動的時間,減少晶圓固晶封裝的平均時間,提高半導(dǎo)體的封裝效率。
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