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相對濕度在35%-40%之間能夠作為一個令人滿意的折中,半導體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學反響的速度,包含腐蝕的進程,將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時,高濕度能夠使反響加速。幸運的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構成一層維護形的氧化物,并阻止進一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護才能的,凈化室定制,因而,在高濕度的環(huán)境中,銅制外表更容易遭到腐蝕。
凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風槍、離子頭、離子棒等設施,無塵凈化室,使在一定范圍內防止靜電產生。2.半導體器件應盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有-導電性能,能有效防止靜電的產生。當然,福州凈化室,有條件的應盛放在金屬盛放器內或用金屬箔包裝。3.對于操作人員應在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應有-的接地性能,這種措施-有效。
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