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石墨坩堝的養(yǎng)護(hù)方法:
對(duì)于壽命已經(jīng)到了期限的,需要進(jìn)行更換,對(duì)于沒(méi)有到壽命期限的且暫時(shí)不用的,需要進(jìn)行密封在塑料袋中,放入紙箱打包,并注明爐號(hào)、更換原因、日期等,妥善保管。對(duì)于那些部分發(fā)生損壞但是沒(méi)有到更換期限的石墨坩堝可以更換也可以湊合用,進(jìn)行密封保存的石墨坩堝再次使用時(shí),粘土石墨坩堝批發(fā),建議大家使用在提純的爐子上。在每次拆爐時(shí),要清理氧化物,并把石墨件上的滲硅清理干凈,一些保溫蓋等部件要擦拭干凈,粘土石墨坩堝價(jià)格,避免一些雜物污染原料,除了在使用中注意人身安全外,還需要注意這種物品要輕拿輕放,-石墨坩堝的安全。
目前,國(guó)內(nèi)石英坩堝生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)中使用的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù)全部源于上世紀(jì)70年代初錦州155廠從日本引進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù),該項(xiàng)技術(shù)設(shè)備自動(dòng)化程度不高,整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中更多的依靠人工來(lái)實(shí)現(xiàn),現(xiàn)在國(guó)內(nèi)新上的坩堝生產(chǎn)設(shè)備都已經(jīng)往自動(dòng)化發(fā)展。坩堝的發(fā)展還是很快的。
石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展-集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
坩堝的使用注意事項(xiàng):
1、坩堝可在1450度以下使用,粘土石墨坩堝,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展-集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)已用此坩堝取代了小的透明坩堝。他具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
2、石英質(zhì)脆,易破,粘土石墨坩堝定做,使用時(shí)要注意。
3、除hf外,普通稀無(wú)機(jī)酸可用作清洗液。國(guó)內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國(guó)內(nèi)坩堝生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的18和20英寸坩堝技術(shù)都比較成熟。其生產(chǎn)使用原料石英砂主要由美國(guó)進(jìn)口。國(guó)內(nèi)產(chǎn)的石英砂純度都達(dá)不到其要求。其原料里雜質(zhì)在生產(chǎn)時(shí)高溫熔制過(guò)程中產(chǎn)生黑點(diǎn)氣泡等 對(duì)拉制單晶硅時(shí)其穩(wěn)定性都有一定影響。
4、不能和hf接觸,高溫時(shí),極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
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