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在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用領(lǐng)域中,對(duì)于-的需求也隨著這些產(chǎn)業(yè)的興衰而出現(xiàn)此起彼落此消彼長(zhǎng),甚至出現(xiàn)行業(yè)的淘汰而與-無(wú)緣,例如照相用膠卷?萍嫉倪M(jìn)步和發(fā)展,使傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)發(fā)生劇烈的變遷,香檳金靶材加工,也使-的供求狀況出現(xiàn)急劇的變化,這種變化也是導(dǎo)致了-的價(jià)格出現(xiàn)劇烈波動(dòng)的因素之一。然而在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)不斷的-和轉(zhuǎn)型中,-依然成為選擇的關(guān)鍵性材料,用更-和更科學(xué)的工藝和手段,把-的-性能發(fā)揮得更-。







在-深加工產(chǎn)品這一領(lǐng)域,如何來(lái)提升-產(chǎn)品的技術(shù)含量和-,-納米技術(shù)、納米材料的科學(xué)研究,實(shí)踐應(yīng)用是這個(gè)產(chǎn)業(yè)向產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的方向,成為當(dāng)代關(guān)注和競(jìng)爭(zhēng)的主要課題。

納米、(nm)納米技術(shù)、納米材料是當(dāng)代科技領(lǐng)域中的-名詞,已經(jīng)成為現(xiàn)實(shí)和潛在的-的應(yīng)用前景的納米銀線,香檳金靶材,已在山東、浙江、北京等地進(jìn)入人們的視野,香檳金靶材,并進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),如果按照銀的當(dāng)前價(jià)7元/克計(jì)算的話,納米銀線的價(jià)格將是銀價(jià)的350倍以上。
而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝,所需要的靶材純度將要求達(dá)到5甚至6n以上。銅與鋁相比較,銅具有更高的抗電遷移能力及-的電阻率,能夠滿足!導(dǎo)體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問(wèn)題:銅與有機(jī)介質(zhì)材料的附著強(qiáng)度低.并且容易發(fā)生反應(yīng),香檳金靶材誰(shuí)家好,導(dǎo)致在使用過(guò)程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。

為了解決以上這些問(wèn)題,需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點(diǎn)、高電阻率的金屬及其化合物,因此要求阻擋層厚度小于50nm,與銅及介質(zhì)材料的附著性能-。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的.需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括ta、w、tasi、wsi等.但是ta、w都是難熔金屬.制作相對(duì)困難,如今正在研究鉬、鉻等的臺(tái)金作為替代材料。
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