1、放電清洗
放電清洗一般用于高真空、真空腔體清洗中.放電清洗的效果取決于電機(jī)材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系.利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?
2、氮?dú)馇逑?/p>
氮?dú)馇逑粗饕抢昧说獨(dú)庠诓牧媳砻娴奈綗嵝 ⑽魰r間短,容易被抽走的特性,用氮?dú)鉀_洗被污染的真空系統(tǒng),同時擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間,縮短真空系統(tǒng)的抽氣時間.
電極資料
真空開關(guān)作業(yè)在10-2pa以上的高真空,因為此刻氣體分子十分稀疏,氣體分子的碰撞游離對擊穿已經(jīng)不起效果,因而擊穿電壓表現(xiàn)出和電極資料有較強(qiáng)的相關(guān)性。
真空空隙的擊穿電壓跟著電極資料的不同而不同,半導(dǎo)體真空腔體加工多少錢,研究者發(fā)現(xiàn)擊穿電壓和資料的硬度與機(jī)械強(qiáng)度有關(guān)。一般來說,硬度和機(jī)械強(qiáng)度較高的資料,往往有較高的絕緣強(qiáng)度。比如,鋼電極在淬火后硬度進(jìn)步,其擊穿電壓較淬火前可進(jìn)步80%。
此外,擊穿電壓還和陰極資料的物理常數(shù)如熔點(diǎn)、比熱和密度等正相關(guān),即熔點(diǎn)較高的資料其擊穿電壓也較高。比照熱和密度而言亦然。這一問題的實質(zhì)是在相同熱能的效果下,資料發(fā)作熔化的概率越大,則擊穿電壓越低。
1、超聲波清洗
超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對液體和污物直接、間接的作用,半導(dǎo)體真空腔體加工中心,使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的.
2、電解侵蝕清洗
電解侵蝕清洗類似于電解拋光,半導(dǎo)體真空腔體加工,是指在溶劑中利用電解作用,清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物,主要用于化學(xué)穩(wěn)定性較高的合金部件,如不銹鋼,耐熱鋼等.
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