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凈化工程潔凈室的復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道:以hepa或ulpa過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ulsi制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):a.彈性擴(kuò)充容易; b.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 (2)潔凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到-之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。-、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
凈化工程靜電問題
靜電放電引起的危險(xiǎn)的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起炸,例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計(jì),紙蜂窩夾芯板,在手術(shù)室使用炸性ma醉劑的86000次中,炸的36次,其中由靜電引起的達(dá)21次;
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動(dòng),氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,鋁蜂窩夾芯板,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,池州夾芯板,在一般情況下,越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng),因此表現(xiàn)為越容易帶電。
凈化工程亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(hepa) 進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。所謂亂流潔凈室,一般包括以下各種送風(fēng)形式(1)gao效過濾器頂送(有擴(kuò)散板和無擴(kuò)散板)(2)流線型散流器頂送(3)局部孔板頂送(4) 側(cè)送。升旭凈化工程公司的此型式合用于潔凈室等級1,夾芯板廠房,000-100,000級。 層流式,層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一平均之直線型,空氣由籠蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。
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