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隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,-規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高,對氣體中雜質和露1點要求-嚴格,需要達到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。
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主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調壓系統(tǒng)、用氣點、監(jiān)控及報警系統(tǒng)組成。對于一些易1燃易1爆氣體,如氫氣等,可能在設計和施工過程中稍有差異,必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。
閥門是在流體系統(tǒng)中,用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置,是使配管和設備內的介質(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。閥門是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件,用來改變通路斷面和介質流動
方向,具有導流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。
氣體管路控制系統(tǒng)可以用于管理控制氣體供應,包括流量,壓力,開關等,同時帶有泄漏報警1燈功能,能夠有效保護用氣安全。
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1.易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃氣體爆1炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室
內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能-可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下:
可燃氣體比空氣輕者,報警裝置設置在所處場所的頂部。
可燃氣體比空氣重者,報警裝置設置在所處場所的1低處。
可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖,當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時,事故排風裝置自動開啟,同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。
為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器,在排入-的排氣管道上,為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設置阻火器。
可燃氣體在適當?shù)墓艿捞帒鼋拥,但接地電阻應符合相關規(guī)定。
各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口,高純供氣系統(tǒng),以便在可燃氣體供應系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體。
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