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實際使用中發(fā)現(xiàn),氣體流量計多少錢,當(dāng)輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實際不符,其實原因很簡單,因為在mfc行業(yè)中,有一種參數(shù)叫cf,即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)(下面簡稱cf)。而mfc行業(yè)中又把n2(氮氣)定義為標(biāo)準(zhǔn)氣體m。n2的c值為1.00,其他的氣體以氮氣為中心,分布在0.1到1.4左右。cf大于1.00的代表氣體是單原子氣體he(-)、xe(氙)。和n2相近的氣體有02(氧氣)、h2(氫氣)、f2(氟)等。0.5以下的有sf6、wf6、sicl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話,簡單的分析其比率,用各自的cf值計算即可。
假設(shè)某臺mfc是用n2標(biāo)定的,但是實際流過的氣體是he,實際的流量比n2多。各個廠家的he的cf值稍有不同,但大約都在1.4,所以簡單的說就是he氣相同示數(shù)時,是n2的1.4倍流量。反過來,如果n2流過he的mfc,氣體流量計,實際的流量大約是1÷1.4=約0.71,少30%的流量。
因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時,考慮出廠標(biāo)定cf是否與你的氣源相同
流量控制器的英文名字叫“mass flow controller”(簡稱mfc),氣體流量計公司,它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
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熱式流量控制器,利用氣流流過毛細(xì)管,改變毛細(xì)管溫度分布,造成上下游溫差方法,而測得氣體流量。不同于容積式流量計,其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應(yīng)氣流瞬時流量, 所以-適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
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