加工蝕刻-沙田不銹鋼網(wǎng)-興之揚(yáng)蝕刻加工廠

金屬蝕刻網(wǎng)片的熔煉過(guò)程：

1）一：這個(gè)階段主要是起弧。電爐通電后，電極發(fā)射熱電子，從陰極發(fā)出大量電子，高速電子可使中性的空氣分子離解成離子，從而空氣具有導(dǎo)電能力，產(chǎn)生電弧，釋放出大量的光和熱。

2）二：這個(gè)階段主要是電極穿井和極下?tīng)t料的熔化。通電起弧后，電極下的爐料受熱熔化。隨著熔化的進(jìn)行，經(jīng)過(guò)15-25分鐘的時(shí)間，電極降到低位置。在此階段，電弧始終被爐料包圍，電弧所放出的熱量絕大部分用于加熱和熔化爐料，對(duì)爐蓋的熱輻射很少，應(yīng)該向爐內(nèi)輸送大功率。

3）三：這一階段主要是電極四周爐料的熔化和電極的回升。隨著熔化的進(jìn)行，液面不斷上升，電極也就相應(yīng)地上升。在回升過(guò)程中，周?chē)�的爐料逐漸熔化，當(dāng)爐內(nèi)只有爐坡和爐底還剩部分未熔爐料，即全部爐料熔化80%左右，這一階段結(jié)束。在這個(gè)階段，電弧在大部分時(shí)間中仍被冷料包圍，應(yīng)仍向爐內(nèi)輸送大功率。

4）四：這個(gè)階段主要是低溫爐區(qū)爐料的熔化。電弧是點(diǎn)熱源，爐膛內(nèi)的溫度分布不均勻，爐門(mén)附近，出鋼口兩側(cè)等處的爐料熔化較慢。應(yīng)及時(shí)將這些地方的冷料推入熔池。在此階段液面仍緩慢上升，鋼水溫度已經(jīng)升高，電弧開(kāi)始暴露在液面上，輻射加強(qiáng)，應(yīng)該適當(dāng)降低輸入功率和電壓。

第二和第三階段是熔化過(guò)程的主要階段，占全部時(shí)間的70-80%，是決定熔化期時(shí)間長(zhǎng)短的主要因素。

興之揚(yáng)蝕刻不銹鋼網(wǎng)片小編來(lái)向大家說(shuō)說(shuō)電漿干法蝕刻制程參數(shù)：

電漿蝕刻制程參數(shù)一般包括了射頻(rf)功率、壓力、氣體種類(lèi)及流量、蝕刻溫度及腔體的設(shè)計(jì)等因素，而這些因素的綜合結(jié)果將直接影響蝕刻的結(jié)果。

射頻(rf)功率是用來(lái)產(chǎn)生電漿及提供離子能量的來(lái)源，因此功率的改變將影響電漿中離子的密度及撞擊能量而改變蝕刻的結(jié)果。壓力也會(huì)影響離子的密度及撞擊能量，另外也會(huì)改變化學(xué)聚合的能力；蝕刻反應(yīng)物滯留在腔體內(nèi)的時(shí)間正比于壓力的大小，一般說(shuō)來(lái)，延長(zhǎng)反應(yīng)物滯留的時(shí)間將會(huì)提高化學(xué)蝕刻的機(jī)率并且提高聚合速率。氣體流量的大小會(huì)影響反應(yīng)物滯留在腔體內(nèi)的時(shí)間；增加氣體流量將加速氣體的分布并可提供更多未反應(yīng)的蝕刻反應(yīng)物，因此可降低負(fù)載效應(yīng)(loadingeffect)；改變氣體流量也會(huì)影響蝕刻速率。原則上溫度會(huì)影響化學(xué)反速率及反應(yīng)物的吸附系數(shù)(adsorptioncoefficient)，提高芯片溫度將使得聚合物的沉積速率降低，導(dǎo)致側(cè)壁的保護(hù)減低，但表面在蝕刻后會(huì)較為干凈；增加腔體的溫度可減少聚合物沉積于管壁的機(jī)率，以提升蝕刻制程的再現(xiàn)性。晶圓背部-氣循環(huán)流動(dòng)可控制蝕刻時(shí)晶圓的溫度與溫度的均勻性，以避免光阻燒焦或蝕刻輪廓變形。其它尚須考慮的因素還有腔體的材質(zhì)，一般常見(jiàn)的材質(zhì)包含鋁、陶瓷、石英、硅及石墨等，不同的腔體材質(zhì)會(huì)產(chǎn)生不同的反應(yīng)產(chǎn)物并會(huì)改變蝕刻的直流偏壓。