東莞愛德華羅茨泵-精修進口泵-愛德華羅茨泵eh2400

半導體加工我們繼續(xù)-技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的-擁有成本要求。

所有居于-的制程工具 oem，以及每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (euv) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。edward可以讓您有效應對這兩種應用。

euv 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 euv 平版印刷，愛德華羅茨泵eh500，因為輕型 euv 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 euv 平版印刷 oem 和光源 oem 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，愛德華羅茨泵配件，可為您進行的大型投資提供 -性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于-系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間-。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (tmp) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)真空。我們的 stp 系列 tmp 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

edward e2m80 愛德華真空泵維修

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