臺式電鏡-邁基爾-河南臺式電鏡

二次電子是由于被入射電子“碰撞”而獲得能量，逃出樣品表面的核外電子，其主要特點是：

(1)能量小于50ev，較易被檢測器前端的電場吸引，因而陰影效應較弱。

(2)只有樣品表面很淺（約10nm）的部分激發(fā)出的二次電子才能逃出樣品表面，臺式電鏡，因此二次電子像分辨率較高。

(3)二次電子的產(chǎn)額主要取決于樣品表面局部斜率，因此二次電子像主要是形貌像。

可看成由許多不同傾斜程度的面構(gòu)成的凸尖、臺階、凹坑等細節(jié)組成，這些細節(jié)的不同部位發(fā)射的二次電子數(shù)不同，從而產(chǎn)生襯度。

二次電子像分辨率高、無明顯陰影效應、場深大、立體感強，是掃描電鏡的主要成像方式，-適用于粗糙樣品表面的形貌觀察。

掃描電鏡的工作原理 在高壓作用下，由于熱陰極發(fā)射出的電子經(jīng)陰極、柵極、陽極之間的電場-、加速，在柵極與陽極之間形成一個具有-能量的電子束斑，稱之為電子源。這個電子束斑再經(jīng)聚光鏡壓縮，會聚成極細的電子束并-在樣品表面上，這個高能量細-的電子束在掃描線圈的作用下，在樣品表面上進行掃描，臺式電鏡，與樣品相互作用，激發(fā)出各種物理信號。各種物理信號的強度與樣品的表面特征相關，可以用相應的探測器分別對其檢測、放大、成像，用于各種微觀分析。掃描電子顯微鏡主要收集的信號是二次電子和倍射電子。