主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)組成,離子源是氣體電離,電力中高壓電力環(huán)網(wǎng)柜真空箱檢漏系統(tǒng),形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同;在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,再設(shè)計(jì)時(shí)只讓-離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上,收集放大器收集-離子流并出入到電流放大器,通過測(cè)量離子流就可知漏率。
-質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。
逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的-氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
-質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理
逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高,-質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲-等優(yōu)點(diǎn)。
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科儀產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備;真空環(huán)境模擬設(shè)備等-產(chǎn)品。今天科儀的小編就和大家分享一下-質(zhì)譜檢漏儀的主要配置有哪些,希望對(duì)您有所幫助!
1. 檢漏儀分子泵
2. 機(jī)械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀電磁閥
4. 內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口
5. 放大器
6. 采用質(zhì)譜模塊
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