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電池片工藝流程 制絨(inte)--擴(kuò)散(1dif)-后清洗(刻邊/去psg)--鍍減反射膜pecvd--絲網(wǎng)、燒結(jié)。(printer)-測(cè)試、分選(tester+sorer--包裝(packing)。
1、制絨
制絨的目的是在硅片表面形成絨面面,以減少電池片的反射率,絨面凹凸不平可以增加二次反射,改變光程及入射方式。通常情況下用堿處理單晶,可以得到金字塔狀絨面;用酸處理多晶,可以得到蟲孔狀無(wú)規(guī)則絨面。處理方式區(qū)別主要在與單多晶性質(zhì)的區(qū)別。
工藝流程:制絨槽***水洗***堿洗***水洗***酸洗***水洗***吹干。
一般情況下,硅與hf、hno3(硅表面會(huì)被鈍化)認(rèn)為是不反應(yīng)的。當(dāng)存在于兩種混合酸的體系中,硅與混合溶液的反應(yīng)是持續(xù)性的。
3、刻蝕
在擴(kuò)散工序,采用背靠背的單面擴(kuò)散方式,電站拆卸光伏板發(fā)電板價(jià)格,硅片的側(cè)邊和背面邊緣不可避免地都會(huì)擴(kuò)散上磷原子。當(dāng)陽(yáng)光照射,p-n結(jié)的正面收集到的光生電子會(huì)沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到p-n結(jié)的背面,造成短路通路。短路通道等效于降低并聯(lián)電阻?涛g工序是讓硅片邊緣帶有的磷的部分去除干凈,避免了p-n結(jié)短路并且造成并聯(lián)電阻降低。
濕法刻蝕工藝流程:上片***蝕刻槽(h2so4hno3hf)***水洗***堿槽(koh)***水洗***hf槽***水洗***下片
hno3反應(yīng)氧化生成sio2,hf去除sio2?涛g堿槽的作用是為了拋光未制絨面,使電池片變得光滑;堿槽的主要溶液為koh;h2so4是為了讓硅片在流水線上漂浮流動(dòng)起來,并不參與反應(yīng)。
干法刻蝕是用等離子體進(jìn)行薄膜刻蝕。當(dāng)氣體以等離子體形式存在時(shí),一方面等離子體中的氣體化學(xué)活性會(huì)變得相對(duì)較強(qiáng),選擇合適的氣體,就可以讓硅片更快速的進(jìn)行反應(yīng),實(shí)現(xiàn)刻蝕;另一方面,可利用電場(chǎng)對(duì)等離子體進(jìn)行引導(dǎo)和加速,使等離子體具有一定能量,當(dāng)轟擊硅片的表面時(shí),硅片材料的原子擊出,可以達(dá)到利用物理上的能量轉(zhuǎn)移來實(shí)現(xiàn)刻蝕的目的。
4、pecvd
等離子體化學(xué)氣相沉積。太陽(yáng)光在硅表面的反射損失率-35%左右。減反射膜可以提高電池片對(duì)太陽(yáng)光的吸收,有助于提高光生電流,進(jìn)而提高轉(zhuǎn)換效率:另一方面,薄膜中的氫對(duì)電池表面的鈍化降低了發(fā)射結(jié)的表面復(fù)合速率,減小暗電流,提升開路電壓,提高光電轉(zhuǎn)換效率。h能與硅中的缺陷或雜質(zhì)進(jìn)行反應(yīng),從而將禁帶中的能帶轉(zhuǎn)入價(jià)帶或者導(dǎo)帶。
在真空環(huán)境下及480攝氏度的溫度下,通過對(duì)石墨舟的導(dǎo)電,使硅片的表面鍍上一層sixny薄膜。
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