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清爐是個(gè)技術(shù)活,清爐不-,將影響到單晶的正常生長,輕者,無-常生長單晶,重者,將會(huì)導(dǎo)致停爐,大家在清理單晶爐中應(yīng)該注意到幾點(diǎn):1、盡量將噴濺到石墨部件上的硅滴去除,石墨坩堝報(bào)價(jià),劣化-的石墨件要向主任報(bào)告及時(shí)更換。2、用刷子和吸塵器清理各種石墨件,一定要注意清理管道的重要性。3、石墨件要輕拿輕放,避免石墨件受損。4、清理干凈的石墨件,應(yīng)放在干凈的不銹鋼推車上,避免二次污染。
同時(shí)坩堝收縮系數(shù)要小,能接受溫度急劇變化而不致至變形和決裂,還有在選材上要留意與所熔金屬不起化學(xué)反響,而且化學(xué)金屬的耐高溫型也要高,石墨坩堝廠家電話,不能因?yàn)闊欺釄鍟r(shí)發(fā)生流失。
石墨熱場以及部件在單晶硅的制造中起著關(guān)鍵的載體作用,直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。熱場一般包括(石墨材料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。
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