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自動(dòng)-顯微鏡的研究在高倍率顯微圖像的處理過(guò)程中,自動(dòng)-具有重要意義。本文對(duì)動(dòng)態(tài)自動(dòng)-顯微鏡的清晰度自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)和-位置隨動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行了分析,超聲檢測(cè)廠家,提出了理想的清晰度檢測(cè)方法評(píng)價(jià)參數(shù)的特征,超聲檢測(cè),敘述了微分峰值檢測(cè)法的原理、實(shí)驗(yàn)結(jié)果、 控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和整機(jī)性能評(píng)價(jià)。如有您需要訂購(gòu),歡迎來(lái)電咨詢我們公司,為您提供詳細(xì)介紹!
偵測(cè)到亮點(diǎn)之情況;
會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷:1.漏電結(jié);2.解除毛刺;3.熱電子效應(yīng);4閂鎖效應(yīng); 5氧化層漏電;6多晶硅須;7襯底損失;8.物理?yè)p傷等。 偵測(cè)不到亮點(diǎn)之情況 不會(huì)出現(xiàn)亮點(diǎn)之故障:1.亮點(diǎn)位置被擋到或遮蔽的情形(埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置);2.歐姆接觸;3.金屬互聯(lián)短路;4.表面 反型層;5.硅導(dǎo)電通路等。
點(diǎn)被遮蔽之情況:埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置,這種情 況可采用backside模式,但是只能探測(cè)近紅外波段的發(fā)光,超聲檢測(cè)儀器,且需要減薄及 拋光處理。
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