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分辨率、對比度和敏感度是光刻膠的-參數(shù)。隨著集成電路的發(fā)展,芯片制造特征尺寸越來越小,對光刻膠的要求也越來越高。光刻膠的-參數(shù)包括分辨率、對比度和敏感度等。為了滿足集成電路發(fā)展的需要,光刻膠朝著高分辨率、高對比度以及高敏感度等方向發(fā)展。
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光刻膠是印刷線路板、顯示面板、集成電路等電子元器件的上游。光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋范圍非常廣,上游為基礎(chǔ)化工材料行業(yè)、精細(xì)化學(xué)品行業(yè),中游為光刻膠制備,下游為電子加工廠商、各電子器產(chǎn)品應(yīng)用終端。由于上游產(chǎn)品直接影響下游企業(yè)的產(chǎn)品,下業(yè)企業(yè)對公司產(chǎn)品的和供貨能力十分重視,常采用采購的模式,進(jìn)入壁壘較高。
在下游半導(dǎo)體、lcd、pcb等行業(yè)需求持續(xù)擴(kuò)大的拉動下,光刻膠市場將持續(xù)擴(kuò)大。2018年全球光刻膠市場規(guī)模為85億美元,2014-2018年復(fù)合增速約5%。據(jù)ihs,未來光刻膠復(fù)合增速有望維持5%。按照下游應(yīng)用來看,目前半導(dǎo)體光刻膠占比24.1%,lcd 光刻膠占比26.6%,負(fù)性光刻膠哪里有,pcb 光刻膠占比24.5%,其他類光刻膠占比24.8%。
工藝角度普通的光刻膠在成像過程中,由于存在一定的衍射、反射和散射,降低了光刻膠圖形的對比度,從而降低了圖形的分辨率。隨著-加工特征尺寸的縮小,入射光的反射和散射對提高圖形分辨率的影響也越來越大。為了提高-系統(tǒng)分辨率的性能,人們正在研究在-光刻膠的表面覆蓋抗反射涂層的新型光刻膠技術(shù)。該技術(shù)的引入,可明顯減小光刻膠表面對入射光的反射和散射,從而-光刻膠的分辨率性能,負(fù)性光刻膠多少錢,但由此將引起工藝復(fù)雜性和光刻成本的增加。 -系統(tǒng)伴隨著新一代-技術(shù)(ngl)的研究與發(fā)展,為了-的滿足其所能實(shí)現(xiàn)光刻分辨率的同時,光刻膠也相應(yīng)發(fā)展。--技術(shù)對光刻膠的性能要求也越來越高。光刻膠的鋪展如何使光刻膠均勻地,按理想厚度鋪展在器件表面,實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。光刻膠的材料從光刻膠的材料考慮進(jìn)行-。
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